
Maquinaria y aparatos microelectrónicos para Rectorado de la Universitat Politècnica de València
Resuelta
- Suministros
- Valencia/València, Valencia, ES
- MY25/IUTNA/S/20
Importe
Licitación de Adquisición de un equipo de depósito de capas atómicas (ALD) de óxido de aluminio, óxido de titanio y óxido de hafnio
La licitación identificada con el expediente MY25/IUTNA/S/20 está relacionada con el sector Suministros. Esta licitación, publicada el 21 de enero de 1970 y actualizada por última vez el 21 de enero de 1970, tiene como objetivo La capacidad actual de realizar depósitos de materiales dieléctricos en el instituto NTC a escala micro/nanométrica y nivel de oblea está limitada a técnicas de depósito químico en fase vapor (CVD). Se dispone de equipos de depósito químico de vapor mejorados con plasma cuales ofrecen películas delgadas dieléctricas amorfas. El proceso ALD consiste en el crecimiento de una película delgada por capas atómicas consecutivas. El hecho de disponer de un equipo ALD que además de aumentar la capacidad de fabricación, ofrecerá uniformidad y conformidad de la película en cualquier escala y tendría un claro impacto sobre la calidad de la investigación realizada al igual que sobre las capacidades ofertadas por el Instituto NTC sería muy alto. ALD es la técnica más avanzada en recubrimiento de película delgada debido al control preciso del espesor de película (nm) que ofrece. Las películas producidas por esta técnica son densas, sin poros y sin defectos, y las condiciones en las que se lleva a cabo el proceso, 1-10 hPa 200-400ºC, son lo suficientemente suaves para ser utilizada con sustratos sensibles. Este tipo de proceso es fundamental también a la hora de trabajar con clientes externos y suministrar controles de calidad y especificaciones técnicas de los dispositivos fabricados. A medida que la industria de los semiconductores sigue evolucionando, el tamaño cada vez más fino de los dispositivos hace que sea especialmente importante encontrar o desarrollar técnicas más avanzadas de crecimiento de películas finas que requieran baja temperatura, una gran precisión en el espesor de la película y una excelente conformabilidad en estructuras tridimensionales (3D). Por tanto, este centro carece de equipamiento necesario que permita asegurar la calidad y cumplimiento de especificaciones a nivel nanométrico durante el proceso de fabricación. Para suplir estas carencias, se solicita la adquisición de un equipo de depósito de capas atómicas de varios óxidos.. El valor estimado del contrato es de 450.000,00 € , con un presupuesto sin impuestos de 450.000,00 € . La modalidad de procedimiento es Abierto, y actualmente su estado es Resuelta.
Esta licitación se localiza en Valencia/València, Valencia, ES, Comunidad Valenciana, ES. La fuente principal de esta información es la Plataforma de Contratación del Sector Público .
La licitación se encuentra clasificada bajo varios códigos CPV, incluyendo CPV, entre otros Maquinaria y aparatos microelectrónicos (Sin código: 31712100), entre otros.
Rectorado de la Universitat Politècnica de València
Total de licitaciones
755
Licitaciones activas
10
Total de Adjudicaciones
703
Organizaciones Relacionadas
320
Criterios de adjudicación
Documentos
Anuncio de Licitación
Declaración de urgencia
Memoria justificativa
Resolución de aprobación
Pliego
URL20250527165821
5 0 PPT_20.pdf
13 ANEXO III Guia DNSH L20.pdf
5 1 ANEXO I Puntuacion mejoras tecnicas ALD_20.pdf
7 0 Cuadro caracteristicas ALD_20.pdf
ANEXO III.pdf
ANEXO IV.pdf
ANEXO IX L20.pdf
ANEXO V.pdf
ANEXO VI L20.pdf
ANEXO VII L20.pdf
ANEXO VIII.pdf
ANEXO X.pdf
ANEXO XI.pdf
ANEXO XII L20.pdf
ANEXO XIII.pdf
ANEXO XIV L20.pdf
Memoria justificativa
Resolución de aprobación
Declaración de urgencia
Apertura Sobre 1: Documentación Administativa
Informe Apertura Sobre 2: criterios evaluables automáticamente
Informe valoración Sobre 2: criterios evaluables automáticamente
Documento de Acta de Adjudicación
Adjudicación
Apertura Sobre 1: Documentación Administativa
Informe Apertura Sobre 2: criterios evaluables automáticamente
Informe valoración Sobre 2: criterios evaluables automáticamente
Acta del órgano de asistencia
Documento de Acta de Formalización
Localización:
Valencia/València, Valencia, ESEstado
ResueltaProcedimiento
AbiertoTipo de contrato
SuministrosFecha de publicación
21 de enero de 1970Presupuesto sin impuestos
450.000,00 €Valor estimado del contrato
450.000,00 €Fecha límite
21 de enero de 1970Duración del contrato
9 mesesPrórroga
-Garantía
-